羅茨真空泵的溢流閥與旁通閥的組合

合閥，羅茨泵的功能(néng)将更加完備：羅茨真空泵;溢流閥;旁通組合閥羅茨真空泵(以下簡稱羅茨泵作(zuò)為(wèi)中(zhōng)真空的增壓泵，溢流與旁通是兩個重要功能(néng)，過去把溢流閥誤稱旁通閥，實際上羅茨泵本身并無旁通的功能(néng)，隻有(yǒu)通過本文(wén)的介紹，将溢流閥進行改造設計，才把這兩個功能(néng)很(hěn)好地結合在一起提前起動羅茨泵，這當然可(kě)以提高一些抽速，但從羅茨泵零流量壓縮比特性和抽速特性曲線(xiàn)上可(kě)以看到在6<103Pa(45Ton.)時抽速已不多(duō)了，到104Pa時，已作(zuò)用(yòng)不大了，過去把羅茨泵定在1tfPa左右起動，壓縮比達30，抽速近百分(fēn)之五十，羅茨泵的功能(néng)明顯反映了出來，這是很(hěn)科(kē)學(xué)的。試圖提前起動，甚至與前級泵同時起動，盡管溢流閥起作(zuò)用(yòng)，但此時的羅茨泵功率顯然是很(hěn)大，羅茨泵的損傷是不言而喻的，以此來取代旁通顯然是得不償失的。隻有(yǒu)把溢流和旁通很(hěn)好結合起來才能(néng)真正實現“旁通'那才是好的辦(bàn)法1溢流和旁通的各自功能(néng)因為(wèi)羅茨泵從十幾托到中(zhōng)真空範圍作(zuò)增壓之用(yòng)，以減少功耗提高抽速，達到節能(néng)的作(zuò)用(yòng)。它選擇的功率與之相匹配，電(diàn)動機選擇得比較小(xiǎo)，而當羅茨泵起動時，尤其是在沒有(yǒu)達到預真空值時，将使電(diàn)動機嚴重超荷，甚至使電(diàn)動機燒壞有(yǒu)了溢流閥，若壓差太大時，閥就起跳，使羅茨泵過高的排壓返回到進氣一側，達到減荷的目的，從而起到保護電(diàn)動機的作(zuò)甩而旁通則不然，其工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)見在羅茨泵的進氣側與排氣側，另設一旁路通道，讓預抽真空泵與工(gōng)作(zuò)室相通，管道中(zhōng)裝(zhuāng)了截止閥預真空泵開始工(gōng)作(zuò)時，截止閥打開，直接通過旁路管道抽氣，當預抽到一定值後即10Torr左右，關閉截止閥，然後起動羅茨泵旁通的目的是減少預真空時間，提高生産(chǎn)效率，作(zuò)為(wèi)生産(chǎn)周期較短的大型真空系統，這一功能(néng)是至關重要的然而，采用(yòng)這一方法，對設備制造者來講提高了生産(chǎn)成本，對操作(zuò)者來講是麻煩的(見)2組合閥的構造溢流閥有(yǒu)多(duō)種結構，有(yǒu)采用(yòng)彈簧壓着閥蓋的，也有(yǒu)幹脆采用(yòng)自重式的，總之溢流閥的結構很(hěn)簡單。為(wèi)了達到旁通的目的，在溢流閥的法蘭體(tǐ)上開出孔道，平面上裝(zhuāng)上逆止閥片彈簧的彈力不宜過大，讓閥片與平面能(néng)接觸即可(kě)。孔道面積大小(xiǎo)與前級泵相匹配，因為(wèi)預真空階段僅在粘滞流态的粗真空範圍，不必太大安(ān)裝(zhuāng)閥片的蓋闆尺寸，應小(xiǎo)于羅茨泵溢流閥原通道口徑，使逆止閥通過該孔徑能(néng)很(hěn)順暢其工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)見通過上述方法，就可(kě)把溢流和旁通兩種功能(néng)很(hěn)好地結合在一起了。當預真空開始時，逆止閥片打開，使預抽泵與真空室得到了連通如果壓差太大，溢流閥仍起着原來的作(zuò)用(yòng)，把逆止閥一起帶動跳起羅茨泵起動後，進氣側的壓力始終比排氣側低，所以逆止閥相應得到很(hěn)好的關閉。這種逆止閥開閉并不頻繁，使用(yòng)壽命可(kě)想是足夠長(cháng)的。