真空系統設計中(zhōng)的注意事項

真空系統設計中(zhōng)應該注意的問題

(1)真空元件，如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯接時，應盡量作(zuò)到抽氣管路短，管道流導大，導管直徑一般不小(xiǎo)于泵口直徑，這是系統設計的一條重要原則。但同時要考慮到安(ān)裝(zhuāng)和檢修方便。有(yǒu)時為(wèi)了防振和減少噪音，允許機械泵設置在靠近真空室的泵房内。

(2)機械泵(包括羅茨泵)有(yǒu)振動，要防止振動波及整個系統，通常用(yòng)軟管減振。軟管有(yǒu)金屬和非金屬的兩種，不論采用(yòng)那種軟管要保證在大氣壓力作(zuò)用(yòng)下不被壓癟。

(3)真空系統建成後，應便于測量和檢漏。生産(chǎn)實際告訴我們，真空系統在工(gōng)作(zuò)過程中(zhōng)，經常容易出現漏氣而影響生産(chǎn)。為(wèi)了迅速找到漏孔，要進行分(fēn)段檢漏，因此每一個用(yòng)閥門封閉的區(qū)間，至少要有(yǒu)一個測量點，以便測量和檢漏。

(4)真空系統中(zhōng)配置的閥門和管道，應使系統抽氣時間短，使用(yòng)方便，安(ān)全可(kě)靠。一般在有(yǒu)一個蒸氣流泵作(zuò)為(wèi)主泵(擴散泵或油增壓泵)；和一個機械泵作(zuò)為(wèi)前級泵的系統上，除了有(yǒu)前級管道(蒸氣流泵串聯機械泵的管道)外，還應有(yǒu)一個預真空管道(真空室直通機械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設有(yǒu)高真空閥門(也稱主閥)，在前級管道上設有(yǒu)前級管道閥(也叫低真空閥)；在預真空管道上設置預真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門，通常不能(néng)在閥蓋下為(wèi)真空狀态，而閥蓋上為(wèi)大氣壓狀态下開閥，這要通過電(diàn)氣聯鎖保證安(ān)全。前級管道閥和預真空管道閥要考慮到閥本身能(néng)在大氣壓下開閥。以蒸氣流泵為(wèi)主泵的真空系統，主閥要蓋向主泵，前級管道閥也要蓋向主泵，預真空管道閥蓋向真空室。在機械泵入口管道上，應設一個放氣閥門。當機械泵停止工(gōng)作(zuò)時，能(néng)立即打開此閥，使機械泵入口通入大氣，防止機械泵油返流到管路中(zhōng)，因此該閥要和機械泵電(diàn)氣聯鎖。真空室上也要設置放氣閥門，給裝(zhuāng)料和取料時用(yòng)。該閥設置的位置要考慮到放氣時，氣體(tǐ)沖力較大，防止因沖力過大而破壞真空室内的薄弱構件。放氣閥的大小(xiǎo)與真空室的體(tǐ)積有(yǒu)關，要考慮放氣時間不能(néng)太長(cháng)，影響工(gōng)作(zuò)。

(5)真空系統的設計應保證排氣穩定可(kě)靠，安(ān)裝(zhuāng)拆卸維修容易，操作(zuò)方便，各元件間的連接有(yǒu)互換性。為(wèi)了達到工(gōng)作(zuò)中(zhōng)排氣穩定，要求主泵性能(néng)穩定，各閥門運轉靈活，密封可(kě)靠，系統中(zhōng)各元件的接頭不漏氣，真空室密封性能(néng)好，備真空元件連接采用(yòng)标準尺寸，保證有(yǒu)互換性。在真空系統設計中(zhōng)，原則上講，每一個封閉管路尺寸應有(yǒu)一個可(kě)調尺寸。這個可(kě)調尺寸在過去設計中(zhōng)，都采用(yòng)軟管來解決，現在設計系統時，多(duō)數不采用(yòng)軟管。而采用(yòng)提高真空元件加工(gōng)尺寸精(jīng)度和利用(yòng)連接法蘭上的密封橡膠圈來解決安(ān)裝(zhuāng)誤差，這樣可(kě)以提高系統強度和剛度，減少用(yòng)于系統上的支架，更加美觀。

(6)真空系統設計中(zhōng)要采用(yòng)新(xīn)技(jì )術，做到自動控制和聯鎖保護。随着真空技(jì )術的發展，要求在整個抽氣過程中(zhōng)能(néng)夠進行自動操作(zuò)，如采用(yòng)真空繼電(diàn)器控制羅茨泵在1333Pa壓強下啓動工(gōng)作(zuò)。采用(yòng)水壓繼電(diàn)器控制蒸氣流泵的水壓在某一個壓力上，當水壓不足或斷水時，能(néng)夠立即斷電(diàn)并發出警報。防止泵被燒壞。對于複雜真空系統和工(gōng)藝過程及參數要求嚴格的設備應采用(yòng)微機程序控制，更加安(ān)全可(kě)靠。

(7)真空系統設計中(zhōng)要求做到節省能(néng)源，降低成本，使用(yòng)方便可(kě)靠。做到這一點有(yǒu)很(hěn)大的經濟意義，它可(kě)使所設計的真空應用(yòng)設備有(yǒu)廣泛的市場銷路。